新希登HPR-30系列螺栓在真空处理分析器为快速响应设计高灵敏度分析的气体和蒸汽的物种。配备希登的多层次的软件包,提供简单的质谱仪的控制参数和复杂的操纵和控制外部设备的数据。应用包括泄漏检测、污染监测、趋势分析和分析过程中使用高质量的物种和前兆ALD和金属。
可选升级包括希登3 f系列三重过滤四极系统提供增强的丰度灵敏度、part-per-billion含量检测水平和高污染阻力,特别适合分析激进的气体化学汽相淀积和RIE应用程序。标准质量范围是200阿姆河,版本多达1000阿姆河。
多个采样配置可适应全方位的过程压力和真空系统几何形状的要求。版本有单个或多个采样水湾,常温或加热,使抽样的挥发性物种。购物车系统可以安装,高度调整最大的工具之间的兼容性。对于脉冲沉积过程、时间分辨测量提供50纳秒时间分辨率。HPR-30系列旨在提供一个功能齐全,灵活且强大的解决方案的监测参数在过程气体分析的各个方面如泄漏检测、真空和前兆监测质量。
