HPR-30系列
HPR-30系列系统是为快速响应设计高灵敏度分析的气体和蒸气物种在真空过程。应用包括泄漏检测、污染监测、趋势分析和分析过程中使用高质量的物种和前兆ALD和金属的应用程序为例。
抽样配置提供:
- HPR-30购物车与双电导抽样入口有一个短背的凹角孔径直接采样过程中地区,提供最大的数据完整性和过程状态的快速确认。
- HPR-30多进车具有多种灵活的入口,1米长和tri-valve歧管连接与自动切换进行分析的一个广泛的过程中压力范围。
- HPR-30西格里碳素集团与单个采样线加热应用工具有限空间采样连接,而挥发性弱的要求分析反应产物需要充分加热进口的解决方案。时间分辨数据采集适合脉冲沉积过程监控是作为一个系统的选择。
选项包括创新希登3 f系列三重过滤四极系统提供增强的丰度灵敏度、part-per-billion含量检测水平和高污染阻力,特别适合分析激进的气体化学汽相淀积和RIE应用程序。
提供的系统MASsoft专业软件。
这个Windows 10和11个兼容软件允许通过USB 2.0控制仪器,RS232或以太网。提供全面的I / O数据输出和从外部设备读取数据的集成与质谱数据和显示。
的iRGA软件是一个新的常规真空监测和直观的应用程序。它的设计简单和自动。
- 自动提供部分数据常见的残余气体和蒸汽的压力,包括氢、氦、水、氮、氧、氩和一个定制的气体。
- 包括一个新的平板电脑视图的背景颜色的变化取决于报警状态
- 包括一个趋势看来,扫描,泄漏检测和维护模式
- 包括报警功能发送警报内部I / O, wi - fi和通过电子邮件
