椭圆计为半导体

theta-SE是按钮光谱椭圆计描述薄膜均匀性。对于许多应用程序,在特定波长的光属性。例如,半导体行业感兴趣的光刻技术需要椭圆光度法测量紫外地区(157 nm、193 nm、248 nm等)。可见光谱显示行业感兴趣。光学涂层需要测量他们的设计波长,无论是在可见、近红外甚至中红外波长。theta-SE涵盖光谱范围从400 - 1000 nm。