J WoollamθSE的光谱椭圆计
椭圆计描述薄膜均匀性
theta-SE是按钮光谱椭圆计对薄膜均匀性特征,以先进的椭圆光度法仪器在一个紧凑的包在一个合理的价格
theta-SE配有300毫米样本映射,小斑点,测量光束,快速样本对齐,向下看相机和最新的双转向椭圆计技术。它拥有一切你需要测量你的膜厚度的空间均匀性和光学特性。
theta-SE是按钮光谱椭圆计描述薄膜均匀性。它功能先进的椭圆光度法仪器在一个紧凑的包在一个合理的价格。
样品处理量是优化利用快速点对点翻译,高速采样校准和双转向椭圆计连续数据采集技术。和新Dual-Theta旋转舞台使满,300毫米的映射,但仪器足迹只略大于300 mm晶圆。此外,内置自动数据分析和报告使按钮操作和快速访问测量结果。
特性
- 双转向光学设计
- 一个映射300毫米直径的概述
- 400 - 1000 nm波长范围
- 190波长
- DetectorCCD
- 聚焦光学系统包括
- 数据采集的速度为0.3秒。(最快)1 - 2秒。(典型的)
- 光束直径的名义:250 x 600μm样本
- 光谱椭圆光度法和先进g-SE或MM-SE
- 入射角对所有测量65°固定
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介绍Woollam J
