中性二级质谱:一个强大的技术纳米结构的定量分析元素和深度分析

卡尔曼和监督,^一个阿提拉Csik^一个和加伯·a·兰格^b

^一个核能研究所,匈牙利科学院,h - 4001德布勒森,阿宝框51岁的匈牙利。电子邮件:(电子邮件保护);网络:http://www.atomki.hu/SNMS
^b德布勒森大学固体物理学系,h - 4010德布勒森,阿宝盒2、匈牙利

介绍

维度的降低和增加薄膜和多层结构的复杂性要求的应用方法,提供信息到纳米尺度。纳米结构和表面的量化层与高灵敏度往往是至关重要的监控产品质量。敏感的元素分析,结合定量化学分析,是一个先决条件的制备薄层结构的质量很好。几种方法基于离子溅射为此目的而存在,如二次离子质谱(SIMS), x射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)和中性二级质谱(的需求)。半岛综合体育官方APP下载德甲在XPS和AES表面溅射后分析了各种形式的电子能谱学,西姆斯和需求气急败坏的粒子本身是由质谱仪检测。半岛综合体育官方APP下载德甲这将导致不同的实际应用。电子能谱学能够给予半岛综合体育官方APP下载德甲的信息物质结构和元素的化学状态。模拟人生和需求技术产生的信息元素组成和元素的深度剖面。

本文的目的是给出一个比较的描述两种方法在材料研究应用离子束溅射:二次离子和中性的质谱(西姆斯和需求。我们将说明后者的应用程序通过钙钛矿氧化物的成分分析报告和调查的纳米多层结构。