涡轮泵

Pfeiffer真空已经介绍了HiPace 300 H,高压缩涡轮泵在300 L s¹,压缩比为10⁷为氢,使它适合高和超高真空。它有一个30 hPa兼容性支持压力高,这有助于支持高的泵实现超高真空操作时结合隔膜泵的压力。一个“间歇运行”功能的交换机支持泵只有当支持压力不再是足够的;这降低了整个真空系统的能源消耗90%。