阿斯顿的Atonarp宣布启动原位质谱仪集成半导体测量等离子体电离作用来源。阿斯顿已经建成半导体生产,可以替代多个遗留工具和提供控制的应用程序,包括光刻、介质和导电腐蚀和沉积室清洁,室匹配和减排。端点检测(环保署)是最有效的方式来运行一个半导体的工具和工厂。环保署还没有能够部署在许多流程步骤,因为所需的原位传感器不会生存的过程或室清洁化学物质,或将从冷凝存款或者受到阻塞。晶圆厂不得不使用一个固定的时间来确保过程完成。阿斯顿优化生产检测流程已经完成,什么时候包括室清洁,可以减少所需的清理时间80%。阿斯顿是耐腐蚀性气体和气体污染物冷凝物。它有独立的双电离作用的来源,一个典型的电子轰击电离源和filament-less等离子体电离,在恶劣的环境下可靠地工作中遇到半导体生产。这使得阿斯顿的环境中使用传统电子ionisers会迅速腐蚀和失败。
阿斯顿提供了一个服务的事件之间的时间间隔是100×超过遗产质量分析器。它包括自洁功能,消除了累积产生的冷凝物的沉积在特定的流程。自从阿斯顿生成自己的等离子体,它的工作原理有或没有等离子体过程。这个光学发射光谱学技术提供了一个优势,这需要一个等离子体源,从而使阿斯顿适合ALD和某些金属沉积过半岛综合体育官方APP下载德甲程,可以使用弱,脉冲或没有等离子体进行处理。
