现场计量的半导体制造
耐腐蚀性气体
快速采样、灵敏度高
实时可行的结果
概述
快速、高灵敏度的质谱仪现场计量
阿斯顿平台包括一个投资组合的快速、高灵敏度质谱仪使定量的专有软件,快速气体分析所需的复杂现场半导体制造工艺。阿斯顿平台提供实时、化学具体可行的见解最大化吞吐量和收益率。一个工具可以取代多个遗留的工具。
一流的特性
十亿分之几含量敏感
拥有高灵敏度的快速采样率
稳定
可重复性
长传感器寿命
广泛的质量范围
阿斯顿的优势
适合ALD /啤酒和安全
耐腐蚀性气体和冷凝物
实时数据,可操作的见解
云连接
不需要等离子体
一个工具,许多解决方案
阿斯顿平台支持广泛的计量需求,包括精确现场流程管理要求在今天的行业。
阿斯顿是20 x更敏感的检测终点在高速采样应用程序。当测量低浓度气体副产品,这尤其重要,在信噪比通知过程决策是至关重要的。
阿斯顿平台解决了关键现场计量问题
- 腐蚀性气体传感器损坏
阿斯顿耐盐酸和高频过程的副产品,三氟化氮来室清洁 - 冷凝物颗粒外套传感器
阿斯顿耐teo &硅烷副产品用于氮化硅和氧化沉积 - 速度和灵敏度
阿斯顿提供一流、高速测量结合PPB级过程控制的灵敏度
从地面工程现场半导体计量应用程序。
介质腐蚀端点
小开放区域介质腐蚀端点(< 1%)
“肾上腺脑白质退化症”的端点
金属腐蚀的端点
室管理和安全
建立专门为半应用程序
光发射光谱学(OES)半岛综合体育官方APP下载德甲
- 灵敏度不足
- 不定量的
残余气体分析(RGA)
- 灵敏度不足
- 采样速度缓慢
- 缺乏鲁棒性
建立专门为半应用程序
介质腐蚀端点
小开放区域介质腐蚀端点
金属EtchEndpoint
“肾上腺脑白质退化症”的端点
室管理和安全
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介质腐蚀端点
小开放区域介质腐蚀端点
金属EtchEndpoint
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室管理和安全
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- 灵敏度不足
- 采样速度缓慢
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介质腐蚀端点
小开放区域介质腐蚀端点
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“肾上腺脑白质退化症”的端点
室管理和安全
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来源于一个新的编撰空间ALD计量解决方案
你将学习
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