我们的下一代XPS,轴上+相对于它的前身,增强性能,结合市场领先的光谱和成像能力无与伦比的自动化以确保样品处理量高,易于使用。无与伦比的大面积允许将光电子光谱获得的光谱性能。快速、高空间分辨率XPS成像揭示了表面化学和艾滋病的横向分布与选择区域进一步描述分析。
改进的性能
轴上+设置除了其他光谱仪通过计算机控制完全自动化的样品处理和仪器参数。无人值守样品持有人转让和交换期间分析是通过协调Flexi-lock样品室autostage杂志和样本分析。
逃避综合采集和处理软件允许轴上+发挥出最大能力,提供了一种简便的接口与光谱仪。
轴上的功能+
XPS面积大、灵敏度高
轴上+是x射线光电子能谱优化化学状态。半岛综合体育官方APP下载德甲高效的光电子结合透射电子光学确保无与伦比的高灵敏度和分辨率分析领域。以及传统的扫描采集、光谱可能获得快速、未测量的快照模式在不到一秒钟的时间利用的128通道延迟线检测器(DLD)。
主要功能包括:
- 容易检测的光元素
- 优秀的信噪比,甚至在低浓度
- 高速数据采集
- 扫描或快照光谱采集模式。
高能量分辨率
光谱仪的基本需求是最好的能量分辨率。高能量分辨率,光谱仪并不能促进光电发射峰的展宽,至关重要的精确测量小的化学变化。轴上+有巨大的500毫米罗兰圆全色盲者Al Kαx射线源和优化电子光学确保优秀的化学决议。
高光谱能量分辨率的优势包括:
- 明确识别的化学变化
- 保证能源决议绝缘和导电样品。
快速并行成像
横向分布的元素或化学表面被XPS测量成像。轴上+获得快速、高空间分辨率图像平行。并行图像采集的优点是它明显更快,达到更高的空间分辨率比常规扫描光束的方法。并行成像也可以结合舞台动作获得“缝合”形象,能产生图像在几毫米的空间分辨率的几个微米。
并行成像提供的功能包括:
- 最终1微米的空间分辨率最高的放大。
- 高能量分辨率,化学状态成像。
- 定量成像——独特的球面镜分析器和延迟线检测器可以提供定量化学状态的图像。
- Spectromicroscopy——容易采集的光谱图像数据集提供每个像素的光谱。
多才多艺的越狱软件进行采集和处理
逃避了让用户交互与光谱仪尽可能简单,充分利用自动化集成采集和处理的硬件。这方面的一个例子组阵列分析能力在逃跑。此功能允许用户拖拽区域跨样本和定义一个数组的分析点,从获得的光谱。自动峰鉴别和量化允许容易生成颜色浓度地图发现了样品表面的元素。
无与伦比的仪表自动化
轴上+完全自动化的样品处理使它有别于其他光谱仪。汽车样本交换的一个实验允许连续操作。前所未有的水平的自动化扩展计算机控制等日常维护方面烘焙和随后的脱气的细丝。
自动化还包括x射线源和单色仪镜子,以便校准和切换Kα和可选Ag Lα激发来源完全是计算机控制的。此外,持续优化性能是保证电动多档位的阳极。
高通量样品处理——典型的工作流程
保证样品处理量高,3样品持有人可能放置在Flexi-lock样本杂志。获得一个光学图像的每个样本架样品分析位置确定在自动循环泵。收购方法选择定义所有数据采集的需求。一个方法可以定义简单的光谱或更复杂的实验溅射深度剖析或半岛综合体育官方APP下载德甲angle-resolved XPS等。随后的分析样品在不同样品持有人可以添加到队列分析的自动化样品处理系统交换样品持有人进步通过分析队列。
轴上的关键属性+自动样品处理:
- 自动化、无人值守样品持有人交换。
- 高通量、快速样品分析
- 适合多用户环境
- 样品安装面积多达7200毫米2(2400毫米2x3样品持有人)19 mm最大厚度下(当使用双高度样品持有人)。
轴上+可以配置Minibeam 4,高通量基于“增大化现实”技术+单原子离子源。离子源是完全融入逃脱溅射清洗或深度剖面采集软件实验。为溅射气体处理是完全自动的分析,包括泵/清洗序列从氦气促进改变离子散射谱(ISS)。半岛综合体育官方APP下载德甲Minibeam 4离子源操作与连续变量梁500 eV和4之间keV能量。设计生产高离子通量提高接口的低能量分辨率同时保留溅射率高。
Minibeam 6是一个多模离子源,可以在基于“增大化现实”技术的操作n+集群模式和基于“增大化现实”技术+/他+单原子离子模式的要求。最近开发的气体簇离子来源开辟了深度剖析的可能性有机化学材料保留整个配置文件。深度资料通过复杂的多层材料,如有机发光二极管和灵活的电子设备现在可能的基于“增大化现实”技术n+集群离子。一个独特的能力Minibeam 6生成20 keV的基于“增大化现实”技术n+集群离子使得成功的无机材料的腐蚀,如二氧化钛,大大减少离子诱导化学损伤。
gci也可能是在单原子的基于“增大化现实”技术+模式深度剖析金属或无机材料和使用他,代他+主要离子离子散射谱(ISS)的可选技术。
使用高能量x射线激发与日益增长的兴趣来源相对于常用的Al Kα(1486.6 eV)轴上+可以配置双Al Kα/ Ag Lα(2984.2 eV)单色x射线源。使用高能量光子的一个重要优点是能够激发光电子从更高的结合能核心层面。也是如此,核心级电子的动能增加,深度也增加允许更多的信息采样深度相对传统Kα。这是证明了Si信息深度的增加2 p兴奋Al Kα和Ag Lα分别为7和13 nm。
艾尔Kα/ Ag Lα双x射线源使用相同的单色仪镜子这是一个成本有效的方式添加一个更高的光子能量来源的XPS乐器。
额外的技术可以被添加到轴上+与XPS分析是重合的位置给样本互补的洞察力。重要的是,除了这些技术不妥协的市场领先的XPS的性能。
可选的激励来源包括:
- 消色差Al / Mg x射线源
- 新的和改进的氦放电灯紫外线光电发射光谱(半岛综合体育官方APP下载德甲联合包裹)
- 高企的能源Ag Lα全色盲者x射线源。
- 俄歇电子能谱学场发射电子源(半岛综合体育官方APP下载德甲AES),扫描俄歇映射(山姆)和二级Eelectron Mmicroscopy (扫描电镜)
- 逆光电发射光谱(半岛综合体育官方APP下载德甲知识产权)
样品制备和表面改性选项可以适应标准样品室的介绍,也被称为Flexi-lock。这些选项包括:;
- 样品加热和冷却
- 空气敏感样品运输
- 广泛的现货离子源
- 水晶聪明
- 手套箱。
第三个可以配置为可选的室表面科学研究提供一个专用的特高压的环境。一个典型配置装备室与手工阶段和可选的描述技术包括:;
- 低能电子衍射(LEED)
- 逆PhotoEemission光谱(半岛综合体育官方APP下载德甲知识产权)
- 四极二次离子质Sspectrometry (西姆斯)
表面科学站是一个专用室室接口直接与样本分析和设计房子的可选的表面描述技术包括四极二次离子质谱(西姆斯)、低能电子衍射(LEED)或逆光电发射电子能谱学(半岛综合体育官方APP下载德甲知识产权)。原位表面准备和修改选项可以添加到瑞士包括加热和冷却;薄膜沉积;水晶猪殃殃、低压气体定量给料器等。表面科学站(SSS)有两个实验地点,第一个集群中心的法兰和第二末端的线性转移机制。SSS通常配置手册使用阶段15毫米直径的存根。3样本存根可能存储在瑞士。
SSS是分开的样本分析室由一个自动闸阀控制的数据系统。阀门的操作与真空联锁和位置的线性转移机制。
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