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电影SurveyIR——掠射角红外显微镜对薄膜特性


电影SurveyIR™是一个不可或缺的工具,调查人员在电信、电子和半导体行业质量保证和薄膜(< 1µm厚度)表征和研究人员开发新的薄膜材料。
应用领域
薄膜材料的研究和开发
薄膜污染物/缺陷分析
膜厚度测量和一致性
润滑/氧化
表面改性及表征
单层膜的表面
纳米材料
有机导体/半导体
有机发光二极管(oled)
电影SurveyIR™规范
外部安装,连接红外光束输出
薄膜分析物种的金属、半导体、或电介质基板
Microscope-mounted,液态氮冷却MCT探测器提供了最大的灵敏度
手动X, Y, Z焦点和标本操作
显微镜框架设计提供标本从1优惠券到12“x 1磁盘
外部反射和通用电气ATR红外入射角:60°- 85°
名义上的外部反射模式标本红外光斑大小:
250、167、133、107、67年,40µm
锗ATR促进薄膜分析电介质基板:
名义ATR接触标本大小:250年,167年,133年,107年,67年,40µm
安装阶段接触警报/力对ATR测量读数
机上,用户可选择的红外偏振镜最大化吸收强度和指引方向的研究
eSpot™软件控制显微镜功能,照明模式,和现场图像观察、图像捕获、文档、分析和存储。
船上5 mp摄像头有助于高分辨率图像和视频捕捉
显微镜的光学放大查看模式结果在.77µm /像素样本平面上
查看调查模式ATR分析促进标本的目标